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上海自仪四厂半导体处置设置装备摆设的热处理方案

泉源:上海主动化仪表无限公司作者:宣布工夫:2017-12-29

天津优博仪表厂的中心技能和先辈的热处理方案提供了良好的功能,使我们的客户在他们的行业中具有劣势。这里我们将重点讨论半导体处置设置装备摆设的热处理方案。将来的题目将着眼于剖析仪器、食品效劳设置装备摆设、医疗东西、塑料和加工产业的热处理方案。

半导体加工-精细热办理与控制

半导体器件的制造需求多种光刻、堆积和蚀刻步调。进程温度控制是乐成消费设置装备摆设及其功能目标的要害。这实用于一切的半导体器件,特殊是存储器器件和其他集成电路(集成电路),其功能依赖于存储器容量和处置速率。新一代半导体器件正变得越来越小,越来越庞大。随后,每一代新一代的半导体器件都需求更创新和准确的温度控制。

创新基座加热器技能

20世纪90年月晚期,为半导体oem开辟热处理方案的第一次经历是,在化学气相堆积、光蚀刻、蚀刻和晶片测试设置装备摆设上的铸铝基型加热器的开展。晚期的100150毫米晶片处置的使用是杜雷克斯继续热研讨和开展的根底。天津优博仪表厂作为一种中心才能,在设计和制造基于金属的底座加热器的现场真空使用中,成为首选的热液处理方案供给商。随着产业开展到300mm的制造设置装备摆设和尺寸线宽度和间距增加,天津优博仪表厂的创新处理方案仍在持续。

天津优博仪表厂热能工程,创新和新技能

1965年,英特尔公司(Intel Corporation)和仙童半导体(Fairchild Semiconductor)结合开创人戈登·e·摩尔(Gordon e. Moore)察看到,每一个集成电路的晶体管数目每两年就会添加一倍。这一察看后果被称为摩尔定律,也是半导体技能道路图的指点目标之一,至今依然无效。翻倍很容易说,但它也带来了很多技能上的应战和新的开展。

与此同时,天津优博仪表厂面对着开展下一代热处理方案的应战。近来,天津优博仪表厂开辟了与下一代半导体器件功能、制造和本钱要求相分歧的新中心热技能。这些技能真正代表了对老式加热器和温度控制技能的改良。

光环®和前线®气体,加重热处理方案

天津优博仪表厂的光晕温度控制器和前线泡沫绝缘硅橡胶加热处理方案,旨在优化半导体真空消减零碎的功能。

光环温度控制器

光环®是一个专利请求中集成控制器,增加热力零碎的庞大性和本钱比传统的处理方案。组合在一个控制器是多个传感器输出,包罗进程温度,极限温度,和电传播感,容许监测多个加热器并联。设计用于偏僻地域的维修职员不容易运用的,光晕包罗一个提供零碎安康的视觉指示的灯杆。其他功用包罗Modbus rs - 485通讯,数字输出/输入,hi /低报警输入,以及ramp /浸泡温度提要。

尖兵泵线加热器

尖兵加热器和绝缘SystemsDurex行业开辟了新尖兵®先辈的加热技能,由于半导体设置装备摆设行业工程师需求热处理方案,满意下一代制造工艺标准,同时增加热力零碎本钱。前线泵系列的加热器有1.01.52.04.06.0英寸的直段、肘、t、加速机和法兰。加热器也可以很容易地设计成阀门、调理器和其他气体保送和泵管路部件的尺寸。

氮化铝(AlN)加热技能

多层AlN制冷机技能超纯高功能先辈陶瓷资料是加工下一代半导体器件的要害。天津优博仪表厂看法到开辟一种可以增补AlN2015物理特性的加热技能的益处。热收缩系数、热通报系数、硬度和对大少数化学物质的阻力,使AlN成为原位真空和其他半导体使用的首选资料。

此中一个例子是杜雷克斯公司开辟了一种基于铝氮化铝(AlN)陶瓷加热技能的新型制冷机技能,此中嵌入了钨RTD传感器。该专利行将到达极限陶瓷冷水/加热器的才能:

100年到450°C加热@每秒200°C

450年到100°C冷却@每秒100°C

这一功能是基于天津优博仪表厂的多层单片陶瓷技能,它可以包罗加热器、冷却微流体、RTD传感器、空中层和其他层。AlN的高导热率和高温收缩特性使其疾速反响。在半导体设置装备摆设和剖析仪器中,疾速加热/冷冻机的使用很广泛。


差压变送器

涡街流量计

分体式电磁流量计

铠装热电偶

雷达物位计

孔板流量计

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